四氟化硅

名  称：四氟化硅
CAS号：7783-61-1
纯  度：≥99.999%（5N）/ ≥99.9999%（6N）
分子式： SiF₄

规  格：规格均可定制

简介：是半导体与电子工业关键的超高纯电子特种气体，无色、有刺激性气味，强吸湿性，在潮湿空气中易发烟，兼具毒性与腐蚀性。

主要用途包括：

半导体和集成电路：用于等离子蚀刻剂，P 型掺杂剂，制备多晶硅、外延层，及高纯石英玻璃、硅基材料制备。

化工建材行业：用于制备氟硅酸、氟化铅等氟化物，及水泥、人造大理石硬化剂。