六氟化硫

名  称：六氟化硫
CAS号：2551-62-4
纯  度：≥99.999%（5N）/ ≥99.9999%（6N）
分子式： SF₆

规  格：规格均可定制

简介：是一种高惰性、强绝缘的人造氟化物气体，核心用于电力设备绝缘灭弧与半导体深硅刻蚀。

主要用途包括：

电力设备：高压 GIS、断路器、变压器的绝缘与灭弧（占比超 60%）。

半导体制造：深反应离子刻蚀（DRIE）、Bosch 工艺，用于 MEMS、TSV 与先进封装。

其他：超低温制冷、金属熔铸保护气、医疗超声造影剂。